檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "陳衛國".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="硬度"
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本研究利用自組裝混成式化學氣相沉積系統(Hybrid Plasma CVD, HPCVD),於矽基板成長類鑽碳膜,並調整甲烷/氫氣比例流量、工作壓力、射頻電漿瓦數、氬氣流量等製程參數,製備高硬度類鑽…